第536章 他们要造的，是国产EUV光刻机！

三位院士。

顾明远提到这个阵容的时候，陈知远就知道，这次邀请绝不是让他过去挂个名字。

此前的联合项目规模已经不小，这次却又高了一个层级。

邀请函只写明参与身份和报到要求，具体内容并未透露。

两天后。

一处联合科研中心的会议室里，顾明远把他领到靠前的位置。

会议桌边坐着十来个人，最年轻的看上去也有三十多岁。

几个人正在低声讨论，投影幕布上停着一幅密密麻麻的曲线图。

陈知远刚坐下，一位头发花白的老人便抬起头。

“陈知远？”

“周院士，您好。”

老人笑了笑：“我看过你们那篇论文，瑞士那边开会的时候，有人把你的报告发给我了。”

他叫周启山，是这次专项整机系统方向的负责人之一。

“你之前做的是精密光学和测量，跟我们这里有不少相通的地方。”

周启山说着，示意旁边的工作人员切换投影。

“不过，我得先让你知道，我们究竟在做什么。”

屏幕亮了起来，一行字出现在最上方。

【国产极紫外光刻装备关键技术联合攻关。】

下面还有一个数字：13.5nm。

陈知远的目光微微一凝，“EUV光刻机？”

“对。”

周启山没有卖关子。

“准确地说，是围绕国产EUV原型平台开展整机攻关，光源、反射光学、工件台、测量和控制，各家单位都有自己的任务，我们现在最头疼的，是把这些东西真正拧成一台能稳定工作的机器。”

会议室安静了下来。

EUV光刻机不是有了光就能造芯片。

它要把极小的图形一次次准确地投到指定位置，稍有偏差，就可能整片报废。

眼下原型平台已经完成基础曝光验证，却远没达到稳定工作的程度。

“看这两组结果。”

周启山指向屏幕。

第一张图上，排列整齐的线条清晰可见。

第二张图却明显不同。

同样的测试条件，连续进行多次曝光后，图形的位置出现了逐渐累积的偏移。

“单次结果能做得漂亮，连续工作就不稳定。”

负责控制系统的一位研究员开口道：

“我们把光学系统和工件台分开测过，指标都在允许范围内，但整机运行时，误差总会在某些阶段突然放大。”

另一位专家补充：“光学组怀疑热负荷引起的形变是主因，控制组认为工作台动态补偿还存在问题，两边都有证据，现在最难的是确定先解决哪一个。”

方向一旦选错，设备占用、重复标定，可能白白耗掉几个月。

陈知远没有急着说话。

他把几张图来回看了一遍，又翻到后面的测量记录。

周启山也没有催。

这是一次正式的技术讨论，不是让年轻人现场表演的地方。

过了片刻，陈知远忽然

问：“这些误差，是按什么方式对齐的？”

控制组的负责人看向他。

“设备时间戳统一过，采样时钟也检查过，这个方向我们排查过。”

“我不是说时间戳有问题。”

陈知远把其中两条曲线放大。

“我的意思是，记录在同一时刻的数据，代表的未必是同一时刻的物理状态。”

几个人抬起了头。

陈知远继续道：“光学系统受到热负荷变化以后，形变不是立刻完成的，它有响应过程，工作台的补偿却是按另一套测量和控制节拍执行。”

“如果分别看，两边都能解释。”

“但要是光学状态还在响应前一次变化，工作台这边已经开始补偿下一次误差呢？”

会议桌对面，一名研究员下意识坐直了些。

陈知远指着屏幕上的偏移曲线。

“有没有可能，不是某一个子系统始终不达标，而是两套补偿在某些工况下叠到了一起？”

他说完，会议室安静了一瞬。

耦合问题，专家们不是没研究过。只是过去的联合分析，主要还是按统一时间戳比较。

而陈知远说的是另一回事：同一个时间点，未必对应同一个物理状态。

控制组负责人皱起眉。

“热响应滞后我们考虑过，单纯调整一段延迟，解释不了全部误差。”

“我同意。”陈知远点头，“固定延迟肯定不够，热负荷不同、运行阶段不同，响应也会变，我的意思不是给所有数据统一往后挪几秒。”

他伸手指向屏幕。

“先把光学系统的历史热负荷、实际测量变化、工作台补偿指令，以及最后的曝光偏移放到一起。”

“别只对齐时间，试着对齐它们真正生效的过程。”

“如果关系存在，就应该能在已经做过的实验里找出来。”

周启山坐直身体，问：“你是想先用历史记录建立一个动态关联模型？”

“对。”

“然后呢？”

“挑几组工况不同的数据验证。”陈知远说道，“如果能解释过去那些看着随机的偏移，再考虑调整补偿策略，要是解释不了，直接排除这个方向。”

周启山看了他一会儿，“你有多大把握？”

陈知远笑了笑。

“现在说百分之多少没什么意义，不过，既然数据都已经有了，何必先花时间拆设备？”

旁边几位专家交换了个眼神。

原定安排里，光学组准备启动新一轮标定，甚至需要停机。

如果他的判断成立，这笔时间完全可能省下来。

周启山转头看向顾明远。

“顾所长，你之前说他很擅长从多组数据里找关键问题，我现在有点明白了。”

顾明远笑而不语。

说实话，这一幕他已经不是第一次见了。

周启山又看向控制组负责人。

“老梁，下午那轮重复排查，能不能往后调整半天？”

老梁想了想：“非紧急部分可以。设备那边我来协

调。”

“那就先做数据回放。”

周启山直接定了下来。

“光学、计量、控制三个组，各出一个熟悉原始记录的人，陈知远需要的数据，在本次任务授权范围内给他开只读权限。”

他顿了顿。

“先看一个典型批次，今天能不能把这条线索弄清楚。”

没人提出异议。

十几分钟前，陈知远才刚加入专项。

现在，项目组的一项既定安排已经因为他改变了。

下午三点多。

另一间工作室里，几台显示器并排亮着。

老梁亲自带人调出了原始记录。

“先说明白，这些数据我们不是没分析过。”他把椅子往旁边一拉，“你要是真能看出新的东西，我第一个服。”

“那就先别急着服。”

陈知远坐了下来，随手接过鼠标。

“麻烦把这一段之前的热负荷变化也调出来。”

“往前多少？”

“先把整个测试阶段都放进来。”

屏幕上的曲线重新排列。

一条是光学系统的状态变化，一条是工作台补偿指令，还有一条，是最终测得的曝光位置偏移。

乍看之下，依旧乱得没有规律。

陈知远盯着屏幕，目光一点点扫过。

那些分散的数据在他脑海中迅速串联。

【真理之眼】让他从纷杂的记录里，抓住了最值得验证的那条线索。

“这里。”

他忽然指向一处波峰。

“把前面的热负荷变化和后面的实际偏移，按照刚才那个响应过程重新拟合。”

老梁依言操作。

几秒后，两条原本看着没什么关系的曲线，开始在几个关键变化点上呈现出相近的趋势。

老梁愣了一下。

“等等。”

他把图放大，又核对了一遍数据来源。

“这段偏移……好像真能对应上。”

旁边的计量组研究员凑了过来。

“只是一个批次，说明不了什么。”

“没错。”陈知远点头，“所以还要看别的。”

不知什么时候，周启山也走进了工作室。

他没打断几个人，只是站在屏幕前，看完了那段回放。

过了好一会儿，老人开口。

“老梁，后面那组不同工况的数据，还没拿来做过这套分析吧？”

“没有。”

“调出来。”

老梁看向陈知远。

陈知远把鼠标放下，神色依旧平静。

“正好。”

他指了指屏幕上那条刚刚显露规律的曲线。

“如果下一组也能对上，那咱们之前的排查重点，恐怕真的得换一换了。”

周启山盯着屏幕，没有说话。

因为他比谁都清楚。

一旦这个判断得到验证，改变的就不只是一场会议的安排。

而是这台国产EUV光刻机下一阶段的攻关方向。